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ガソリンタンクから発生するVOC発生量予測
昨今の世界的な環境規制強化の流れの中で, ガソリンタンクから発生するVOC(Volatile Organic Compounds; 揮発性有機化合物)も規制対象になっている。本公演では, CFDソフトウェアStar-CCM+およびスーパーコンピュータシステムFOCUSを用いてガソリンタンク内のガソリンの蒸発/凝縮を解くことによって, VOC発生量を予測する。
プラントエンジニアリング分野でも設計、トラブルシューティングにおいて圧縮性流体の挙動評価が必要な状況が増えている。そこで内部流れの圧縮性流体解析に関するベンチマーク計算を行い、適用範囲や予測精度を調べた。
昨今の世界的な環境規制強化の流れの中で, ガソリンタンクから発生するVOC(Volatile Organic Compounds; 揮発性有機化合物)も規制対象になっている。本公演では, CFDソフトウェアStar-CCM+およびスーパーコンピュータシステムFOCUSを用いてガソリンタンク内のガソリンの蒸発/凝縮を解くことによって, VOC発生量を予測する。
クラウドを適用したスピン洗浄装置の気流解析
半導体デバイス製造で用いられるスピン洗浄装置には、ウエハの高速回転により発生した薬液や超純水のミストがウエハに再付着しデバイスの不良を引き起こすという問題がある。この対策のために流体シミュレーションを利用してきたが、計算時間が非常に長いためタイミング良く対策案を提案できていなかった。このため現在は、クラウドの適用を試みている。今回の報告ではクラウドの適用例とその効果、そしてクラウド各社の比較について述べる。
半導体デバイス製造で用いられるスピン洗浄装置には、ウエハの高速回転により発生した薬液や超純水のミストがウエハに再付着しデバイスの不良を引き起こすという問題がある。この対策のために流体シミュレーションを利用してきたが、計算時間が非常に長いためタイミング良く対策案を提案できていなかった。このため現在は、クラウドの適用を試みている。今回の報告ではクラウドの適用例とその効果、そしてクラウド各社の比較について述べる。

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